THz Inspection
Technology

보이지 않는 결함을, 보이는 기술로 선명하게

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THz Inspection Technology

Why THz Inspection?

THz(테라헤르츠) 파는 여러 소재를 투과하거나 반사하는 특징이 있어

다층 구조 내부에서 일어나는 변화를 비접촉으로 관찰하는데 활용되고 있습니다.


특히 복잡한 구조를 가진 OLED 제조 공정에서는,

어떤 레이어에서 변화가 발생했는지를 더 빠르게 파악하는 것이

전체 생산 품질과 효율성에 중요한 요소로 여겨지고 있습니다.


유니테라는 이러한 THz 파의 특성에 주목하고, 디스플레이 제조 환경에서

THz 기반 검사 방식이 새로운 대안으로 활용될 가능성을 연구하고 있습니다.


공정마다 서로 다른 조건과 요구 사항이 존재하기 때문에

이를 충족할 수 있는 형태의 기술 개발 방향을 설정하고 있으며,

산업 현장에서 적용될 수 있는 검사 방식으로 발전시키는 것을 목표로 하고 있습니다.

THz Inspection Technology

Why THz Inspection?

보이지 않는 내부를 확인하는 새로운 파동의 가능성

THz가 가진 물성이 검사 방식의 폭을 넓혀줍니다.


투과성

THz 파는 금속을 제외한 다양한 비금속·박막 소재를 통과하며 레이어 내부의 변화를 살펴보는 데 활용되고 있습니다. 다층 구조를 가진 OLED 패널에서도 특정 레이어의 상태를 확인할 수 있어 내부 관찰이 필요한 검사 환경에 참고되고 있습니다.


+


비접촉 · 비파괴성

THz 파는 낮은 에너지 대역을 사용해 소재를 손상시키지 않고
접촉이 필요하지 않다는 점에서 공정 오염 우려가 적습니다.
이러한 특성은 반복적인 검사 환경에서도 안정성을 유지하는 데 도움이 됩니다.


+


공정 친화성

THz 신호는 빠르게 측정할 수 있어 생산 라인에서 연속적으로 이동하는 시료의 상태를 멈추지 않고 확인하는 방향으로 응용될 가능성이 있습니다. 유니테라는 이러한 특성을 바탕으로 공정 흐름과 자연스럽게 결합할 수 있는 검사 방식 연구를 진행하고 있습니다.

How THz Inspection Works

THz 기반 검사 원리

Reflection Analysis

반사 기반 분석

THz 파가 서로 다른 레이어의 경계에서 반사될 때 나타나는 신호 변화를 측정해 두께 변화나 구조적 불균일성을 판단하는 데 사용됩니다.

Transmission Analysis

투과 기반 분석

소재를 통과한 THz 신호의 감쇠나 패턴 차이를 비교해 전체적인 균일도나 내부 변화를 해석하는 데 참고합니다.

Spectral Response

스펙트럼 분석

각 소재는 THz 대역에서 서로 다른 진동 특성과 흡수 특성을 가지기 때문에 이 특성을 비교하면 구조적 변화 여부를 더 정확히 파악하는 데 도움을 줍니다.

Horizontal Process Section

OLED 제조 공정과의 적합성

The Value of THz-Based Inspection

THz 기반 검사의 가치 제안

THz 기반 검사는 공정 내부에서 발생하는 변화를 보다 빠르게 파악하는 데 도움이 되어

품질 안정성을 높이고자 하는 제조 공정에서 보조적 검사 방식으로 참고되고 있습니다.

유니테라는 THz 기술이 가진 물성을 기반으로 산업 현장에서 요구하는 검사 방식을 충족할 수 있는 방향의 연구를 지속하며,

제조 전반에서 효율성을 높일 수 있는 기술적 기반을 마련해 나가고 있습니다.

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